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同步輻射光源是指電子以接近光速在磁場中做曲線運(yùn)動時，在切線方向上發(fā)射出的電磁輻射。

真空線與普通線主要的區(qū)別是真空線在真空中放氣率較低。而所謂放棄率指的是單位時間內(nèi)從真空系統(tǒng)中泄漏出去的氣體量。

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在半導(dǎo)體應(yīng)用中，電氣饋通至關(guān)重要。作為外部環(huán)境與半導(dǎo)體處理腔室內(nèi)的真空或受控氣氛之間的關(guān)鍵接口，電氣饋通在以下幾個方面發(fā)揮著重要作用。

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接地屏蔽是指同軸電纜的外導(dǎo)體（屏蔽層）通過某種方式直接或間接地與地面（大地）連接。

Edwards愛德華的nXDS系列干式渦旋泵在各種領(lǐng)域都有廣泛的應(yīng)用，主要包括以下幾個方面：